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氟材料在半導體·液晶制造用途領域中的應用

多彩的氟化學制品支撐著半導體和液晶的制造業

在不容許有一點點雜質的世界中,高純度耐藥品性能優異的氟樹脂、氟橡膠、工程塑料等高品質的氟化學制品正在發揮著重要的作用。

  • 藥液管道材料
  • 排氣設備
  • 藥液儲罐
  • 軟管·接頭
    閥門·過濾器
  • 密封材
  • 過濾器
  • 腐蝕材料
  • 精密化學
    特殊定制服務

半導體·液晶制造用途

【化工設備】藥液管道材料

藥液用的管道材料常使用純度高、耐藥品性能好的氟樹脂NEOFLON PFA

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【化工設備】排氣裝置

排氣用的通風裝置,常使用阻燃性和耐藥品性能優越的氟涂料。

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【化工設備】藥液儲罐

為了維持儲罐內的藥品安全且保證其純度,使用了高純度耐藥品性優異的氟樹脂進行內襯處理。另外,儲罐的外部涂有Zeffle熱反射隔熱涂料,延長儲罐的使用周期。

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【制造設備】軟管、接頭、閥門、過濾器

半導體制造裝置內的軟管、接頭、閥門、過濾器等大多數的零部件是使用耐藥品性良好的氟樹脂NEOFLON PFA。

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【制造設備】密封材

半導體密封材料,采用高純度耐藥品性能優異的DUPRA

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【無塵室】空氣過濾器

氟樹脂用于過濾材料作成過濾器具有低壓損、高效率、優異的耐藥品性。用于無塵室。

 


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【工藝材料】蝕刻劑

在高潔凈的制造工程中,使用高純度的蝕刻劑

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【工藝材料】精密化學(定制合成)

可以按照客戶的設計要求定制合成含氟的ARC(防止反射)材料、絕緣膜材料。

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